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机译:热壁反应器中甲基三氯硅烷化学气相沉积的模拟
D. Neuschiitz; M. Schierling; S. Zimdahl;
机译:热壁反应器中甲基三氯硅烷中SiC化学气相沉积的模拟
机译:降阶建模,可对热壁化学气相沉积反应器进行有效的数值优化
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机译:在热壁反应器中化学气相沉积碳化硅。
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机译:热壁反应器中甲基三氯硅烷化学气相沉积SiC的模拟
机译:低压热壁化学气相沉积反应器-配有石英缸。垂直于纵轴安装的基质血小板
机译:射频供电的等离子体增强化学气相沉积反应器和实现等离子体增强化学气相沉积的方法
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